Документ утратил силу или отменен. Подробнее см. Справку

"Санитарные правила для производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем" (утв. Главным государственным санитарным врачом СССР 26.06.1990 N 5181-90)

Утверждаю

Заместитель Главного

государственного

санитарного врача СССР

А.М.СКЛЯРОВ

26 июня 1990 г. N 5181-90

САНИТАРНЫЕ ПРАВИЛА

ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

И ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ