3.3.1. Гетероэпитаксиальные структуры (материалы),
состоящие из подложки с несколькими
последовательно наращенными эпитаксиальными
слоями любого из следующих материалов:
3.3.1.1. Кремний; 3818 00 100 0;
3818 00 900 0
3.3.1.2. Германий; 3818 00 900 0
3.3.1.3. Карбид кремния; или 3818 00 900 0
3.3.1.4. Соединения III - V на основе галлия или 3818 00 900 0
индия
(в ред. решения Межгосударственного Совета ЕврАзЭС от 11.12.2009 N 469)
(см. текст в предыдущей редакции)
Техническое примечание. Исключено. - Решение
Межгосударственного Совета ЕврАзЭС от 11.12.2009 N 469
(см. текст в предыдущей редакции)
3.3.2. Материалы резистов, а также подложки,
покрытые контролируемыми резистами:
3.3.2.1. Позитивные резисты, предназначенные для 3824 90 980 9
полупроводниковой литографии, специально
приспособленные (оптимизированные) для
использования на длине волны менее 245 нм;
(в ред. решения Межгосударственного Совета ЕврАзЭС от 12.12.2008 N 406)
(см. текст в предыдущей редакции)
3.3.2.2. Все резисты, предназначенные для 3824 90 980 9
использования при экспонировании
электронными или ионными пучками, с
чувствительностью 0,01 мкКл/кв. мм или
лучше;
(в ред. решения Межгосударственного Совета ЕврАзЭС от 12.12.2008 N 406)
(см. текст в предыдущей редакции)
3.3.2.3. Все резисты, предназначенные для 3824 90 980 9
использования при экспонировании
рентгеновскими лучами, с чувствительностью
2,5 мДж/кв. мм или лучше;
(в ред. решения Межгосударственного Совета ЕврАзЭС от 12.12.2008 N 406)
(см. текст в предыдущей редакции)
3.3.2.4. Все резисты, оптимизированные под технологии 3824 90 980 9
формирования рисунка, включая силилированные
резисты
(в ред. решения Межгосударственного Совета ЕврАзЭС от 12.12.2008 N 406)
(см. текст в предыдущей редакции)
3.3.2.5. Все резисты, разработанные или 3824 90 980 9
приспособленные для применения с
оборудованием для литографической печати,
указанным в пункте 3.2.1.6.2, использующие
термический или светоотверждающий способ
(п. 3.3.2.5 введен решением Межгосударственного Совета ЕврАзЭС от
11.12.2009 N 469)
Технология силилирования - это процесс,
включающий окисление поверхности резиста,
для повышения качества мокрого и сухого
проявления
3.3.3. Следующие органо-неорганические соединения:
3.3.3.1. Металлоорганические соединения алюминия, 2931 00 950 0
галлия или индия с чистотой металлической
основы более 99,999%;
3.3.3.2. Органические соединения мышьяка, сурьмы и 2931 00 950 0
фосфорорганические соединения с чистотой
основы неорганического элемента более
99,999%
(в ред. решения Межгосударственного Совета ЕврАзЭС от 27.10.2006 N 320)
(см. текст в предыдущей редакции)
По пункту 3.3.3 контролируются только
соединения, металлический, частично
металлический или неметаллический элемент в
которых непосредственно связан с углеродом
органической части молекулы
3.3.4. Гидриды фосфора, мышьяка или сурьмы, имеющие 2848 00 000 0;
чистоту более 99,999%, даже будучи 2850 00 200 0
растворенными в инертных газах или водороде
По пункту 3.3.4 не контролируются гидриды,
содержащие 20% и более молей инертных газов
или водорода
3.3.5. Подложки из карбида кремния (SiC), нитрида 3818 00 900 0
галлия (GaN), нитрида алюминия (AlN) или
нитрида галлия-алюминия (AlGaN) или слитки,
були, а также другие преформы из указанных
материалов, имеющие удельное сопротивление
более 10 000 Ом·см при 20 °C
(п. 3.3.5 в ред. решения Межгосударственного Совета ЕврАзЭС от
11.12.2009 N 469)
(см. текст в предыдущей редакции)
3.3.6. Подложки, определенные в пункте 3.3.5, 3818 00 900 0
содержащие по крайней мере один
эпитаксиальный слой из карбида кремния
(SiC), нитрида галлия (GaN), нитрида
алюминия (AlN) или нитрида галлия-алюминия
(AlGaN)
(п. 3.3.6 введен решением Межгосударственного Совета ЕврАзЭС от 11.12.2009
N 469)
- Гражданский кодекс (ГК РФ)
- Жилищный кодекс (ЖК РФ)
- Налоговый кодекс (НК РФ)
- Трудовой кодекс (ТК РФ)
- Уголовный кодекс (УК РФ)
- Бюджетный кодекс (БК РФ)
- Арбитражный процессуальный кодекс
- Конституция РФ
- Земельный кодекс (ЗК РФ)
- Лесной кодекс (ЛК РФ)
- Семейный кодекс (СК РФ)
- Уголовно-исполнительный кодекс
- Уголовно-процессуальный кодекс
- Производственный календарь на 2023 год
- МРОТ 2024
- ФЗ «О банкротстве»
- О защите прав потребителей (ЗОЗПП)
- Об исполнительном производстве
- О персональных данных
- О налогах на имущество физических лиц
- О средствах массовой информации
- Производственный календарь на 2024 год
- Федеральный закон "О полиции" N 3-ФЗ
- Расходы организации ПБУ 10/99
- Минимальный размер оплаты труда (МРОТ)
- Календарь бухгалтера на 2024 год
- Частичная мобилизация: обзор новостей