3.4. Программное обеспечение

3.4.1. Программное обеспечение,

специально разработанное для

разработки или производства

оборудования, определенного в

пунктах 3.1.1.2 - 3.1.2.7 или 3.2

3.4.2. Программное обеспечение,

специально разработанное для

применения оборудования,

определенного в пунктах

3.2.1.1 - 3.2.1.6 или 3.2.2

3.4.3. Физически обоснованное программное

обеспечение моделирования,

специально разработанное для

разработки процессов литографии,

травления или осаждения в целях

воплощения маскирующих шаблонов в

конкретные топографические рисунки

на проводниках, диэлектриках или

полупроводниках

Техническое примечание.

Под термином "физически

обоснованное" в пункте 3.4.3

понимается использование

вычислений для определения

последовательности физических

факторов и результатов

воздействия, основанных на

физических свойствах (например,

температура, давление, коэффициент

диффузии и полупроводниковые

свойства материалов)

Примечание.

Библиотеки, проектные атрибуты или

сопутствующие данные для

разработки полупроводниковых

приборов или интегральных схем

рассматриваются как технология

3.4.4. Программное обеспечение,

специально разработанное для

разработки оборудования (систем),

определенного в пункте 3.1.3