Приказ Минтруда России от 03.02.2014 N 69н (ред. от 12.12.2016) "Об утверждении профессионального стандарта "Инженер-технолог в области производства наногетероструктурных СВЧ-монолитных интегральных схем" (Зарегистрировано в Минюсте России 20.03.2014...

3.2.5. Трудовая функция

Наименование

Реализация технологии на основе проекционной литографии

Код

B/05.7

Уровень (подуровень) квалификации

7

Происхождение трудовой функции

Оригинал

X

Заимствовано из оригинала

Код оригинала

Регистрационный номер профессионального стандарта

Трудовые действия

Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе проекционной литографии

Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для изготовления фотошаблонов

Руководство изготовлением комплекта фотошаблонов в соответствии с ТЗ

Руководство подготовкой подложек для проведения последовательности операций ТП, основанного на проекционной литографии (фотолитографии)

Подготовка установки проекционной литографии к проведению операций

Руководство реализацией последовательности операций изготовления МИС СВЧ после экспонирования подложек

Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка проекционной литографии

Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой

Регламентные работы по тестированию установок проекционной литографии

Необходимые умения

Работать с нормативной документацией

Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ

Необходимые знания

Технология производства МИС СВЧ на основе проекционной литографии

Стандарты для подготовки технологической документации

САПР подготовки файлов топологии для проекционной литографии

Другие характеристики

Ответственность за качество ТП проекционной литографии

3.2.4. Трудовая функция 3.2.6. Трудовая функция