3.1.2. Трудовая функция

Трудовые действия

Анализ технических возможностей литографического оборудования для проектирования фотошаблонов данного технологического уровня

Определение необходимости проведения коррекции оптических эффектов близости

Формирование скриптов коррекции и проведение коррекции оптических эффектов близости

Проведение анализа методов коррекции оптических эффектов близости при проектировании фотошаблонов

Определение и согласование с технологами участка изготовления фотошаблонов параметров коррекции эффектов оптической близости для формирования технологического рисунка на фотошаблоне

Необходимые умения

Владеть методиками работы со специализированными программными платформами проектирования и верификации фотошаблонов

Анализировать методы коррекции оптических эффектов близости и коррекции фазового сдвига

Владеть способами коррекции оптических эффектов близости в пределах используемой системы автоматизированного проектирования

Использовать и правильно комбинировать алгоритмы и программы для оптимального проектирования фотошаблонов

Необходимые знания

Технический английский язык

Раздел общей физики: оптика (дифракция, интерференция), основы фурье-оптики

Процессы электронно-лучевой и оптической литографии, технологии формирования топологического рисунка с помощью лазерных генераторов изображения

Особенности литографического оборудования при изготовлении фотошаблона

Химические процессы травления фоторезиста

Целевые системы автоматизированного проектирования

Маршруты разработки и проектирования фотошаблонов

Методики верификации фотошаблонов

Возможности скриптовых языков

Булева алгебра

Методы создания моделей коррекции оптических эффектов близости

Другие характеристики

-