|
Трудовые действия
|
Определение совместно с технологами участка изготовления фотошаблонов требований к тестовым топологическим элементам заданного технологического уровня, обусловленных технологическими возможностями используемого литографического оборудования
|
|
Разработка тестовых топологических элементов к фотошаблонам заданного технологического уровня
|
|
Формирование наборов тестовых топологических структур для всех критических слоев с целью создания калибровочных моделей
|
|
Размещение тестовых элементов в рабочем поле фотошаблона (меток и служебной технологической информации)
|
|
Выполнение процедур передачи управляющей информации на участок изготовления фотошаблонов
|
|
Проведение верификации и проверки литографических правил
|
|
Выполнение процедур запроса проведения контрольно-измерительных тестов изготовленного фотошаблона (толщина линий, наличие дефектов, геометрических отклонений)
|
|
Выполнение процедур запроса статистических данных для анализа корректности тестовых структур фотошаблонов
|
|
Формирование отчета о тестировании с использованием описания соответствия изготовленного фотошаблона исходным требованиям и рекомендациям по оптимизации размещения элементов топологии, выбору методов коррекции, повышению выхода годных
|
|
Внесение изменений в маршрутную карту проектирования фотошаблонов, обусловленных технологическими возможностями используемого оборудования и результатами тестирования
|
|
Необходимые умения
|
Пользоваться технической документацией
|
|
Проводить полный цикл автоматизированного проектирования фотошаблонов
|
|
Автоматизировать этапы разработки, запуска и анализа результатов тестов
|
|
Применять методологию контроля линейных размеров топологических элементов
|
|
Владеть методами проектирования фазосдвигающих фотошаблонов
|
|
Создавать тестовые фотошаблоны для построения математической модели
|
|
Использовать соответствующие программные средства
|
|
Необходимые знания
|
Технический английский язык
|
|
Основы технологии производства интегральных схем
|
|
Процессы электронно-лучевой литографии, лазерные генераторы изображения
|
|
Маршрут разработки и проектирования фотошаблонов
|
|
Системы проектирования программных средств, языки программирования
|
|
Методики верификации фотошаблонов
|
|
Методики измерения критических размеров элементов фотошаблона
|
|
Маршруты аттестации фотошаблонов через измерение рассовмещения фотошаблонов в наборе; определение и классификация дефектов; сравнение исходных и проектных топологических данных с реализованными на шаблоне заданного технологического уровня
|
|
Другие характеристики
|
-
|