6.1 ВВЕДЕНИЕ

Фторированные соединения (ФС) используются во многих процессах современной электронной промышленности для плазменного травления сложных схем, чистки реакционных камер и температурного контроля. Отдельные сектора электронной промышленности, рассмотренные в этой главе, включают производство полупроводников, жидкокристаллических (TFT) дисплеев и панелей, а также фотоэлементов (ФЭЭ).