6.2.2 Выбор коэффициентов выбросов

6.2.2.1 Травление и чистка хопф для полупроводников, жидкокристаллических (tft) дисплеев и фотоэлектрических элементов

Некоторые коэффициенты выбросов МГЭИК для уровня 1 представлены в таблице 6.2 (Межправительственная, 2006).

Таблица 6.2

КОЭФФИЦИЕНТЫ УРОВНЯ 1 ДЛЯ ВЫБРОСОВ ОТДЕЛЬНЫХ ГАЗОВ

ОТ ЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ, РЕКОМЕНДОВАННЫЕ МГЭИК

В силу своей специфики электронная промышленность довольно сложна, а используемые в ней технологические процессы - комплексные. Необходимо учитывать, что коэффициенты МГЭИК не могут охватить все разнообразие производственных условий, и основаны на некоторых допущениях, поэтому коэффициенты выбросов МГЭИК по своей внутренней сути являются ненадежными. В то же время точность можно повысить, используя большее число измеренных данных, а также применяя коэффициенты выбросов к схожим процессам, в которых используются схожие или одинаковые химические вещества.

Если данные об использовании мощностей промышленности полупроводников в регионе не известны, в Р-2006 рекомендуется принимать загрузку производственных мощностей, равную 80%. Для оценки потребления предлагается по аналогии использовать загрузку 80% от проектной мощности для производства TFT-дисплеев в регионе, для C_u рекомендуется использовать значение 86% (Межправительственная, 2006).

При оценке выбросов в процессе производства ФЭЭ следует учесть долю промышленности, где фактически применяют ФС (C_ФЭЭ в уравнении 6.1). Согласно Р-2006 ФС фактически используются при производстве 40 - 50% ФЭЭ, при этом тенденция использования ФС может расти. При отсутствии данных рекомендуется применять значение по умолчанию C_ФЭЭ = 0,5 (Межправительственная, 2006).

6.2.2.2 Теплопроводящие жидкости

Коэффициенты выбросов для метода уровня 1 представлены в таблице 6.2.