2.27. Очистка вакуумной камеры ионно-плазменного напыления

2.27. Очистка вакуумной камеры

ионно-плазменного напыления

2.27.1. Очистка внутреннего пространства вакуумной камеры должна производиться в три этапа:

- предварительная очистка стенок камеры металлической щеткой и абразивной шкуркой;

- удаление пыли и продуктов испарения с помощью пылесоса;

- окончательная очистка и протирка с помощью ЛВЖ внутреннего пространства камеры.

2.27.2. Операцию очистки внутренней поверхности вакуумной камеры необходимо проводить только при полном отсутствии электропитания и после принятия мер, исключающих его случайное включение.

Следует проверить исправность блокировок, на коммутационном аппарате вывесить плакат "Не включать! Работают люди".

2.27.3. Во время очистки и протирки внутренней поверхности вакуумной камеры при необходимости дополнительного освещения необходимо применять переносные лампы напряжением не выше 12 В во взрывобезопасном исполнении.

2.27.4. Очистка камеры должна проводиться при постоянном вентилировании объема.

2.27.5. Работники должны применять средства защиты дыхания и зрения.