9031 Измерительные или контрольные приборы, устройства и машины, в другом месте данной группы не поименованные или не включенные; проекторы профильные

	9031	Измерительные или контрольные приборы, устройства и машины, в другом месте данной группы не поименованные или не включенные; проекторы профильные:
	9031 10 000 0	- машины балансировочные для механических частей	шт	0
	9031 20 000 0	- стенды испытательные	шт	0
		- оптические приборы и устройства прочие:
	9031 41 000 0	-- для проверки полупроводниковых пластин или устройств или для проверки фотомасок или фотошаблонов, используемых в производстве полупроводниковых приборов	шт	0
	9031 49	-- прочие:
	9031 49 100 0	--- проекторы профильные	шт	0
	9031 49 900 0	--- прочие	шт	0
	9031 80	- приборы, устройства и машины прочие:
		-- электронные:
		--- для измерения или контроля геометрических величин:
	9031 80 320 0	---- для проверки полупроводниковых пластин или устройств или для проверки фотомасок или фотошаблонов, используемых в производстве полупроводниковых приборов	шт	0
	9031 80 340 0	---- прочие	шт	0
	9031 80 380 0	--- прочие	шт	0
		-- прочие:
	9031 80 910 0	--- для измерения или контроля геометрических величин	шт	0
	9031 80 980 0	--- прочие	шт	0
	9031 90	- части и принадлежности:
+	9031 90 200 0	-- для аппаратуры подсубпозиции 9031 41 000 0 или для оптических приборов и устройств для измерения поверхностного загрязнения частицами полупроводниковых пластин подсубпозиции 9031 49 900 0	-	0
+	9031 90 300 0	-- для аппаратуры подсубпозиции 9031 80 320 0	-	0
+	9031 90 850 0	-- прочие	-	0

9030 Осциллоскопы, анализаторы спектра, прочие приборы и аппаратура для измерения или контроля электрических величин, кроме измерительных приборов товарной позиции 9028; приборы и аппаратура для обнаружения или измерения альфа-, бета-, гамма-, рентгеновского, космического или прочих ионизирующих излучений 9032 Приборы и устройства для автоматического регулирования или управления