Направление 3 "Микросистемная техника"

33. Разработка базовых технологий 302 93 112 97 - - создание базовых технологий и

микроэлектромеханических систем --- -- --- -- комплектов технологической

166 61 75 30 документации на изготовление

микроэлектромеханических систем

контроля давления,

микроакселерометров с

чувствительностью по двум и

трем осям, микромеханических

датчиков угловых скоростей,

микроактюаторов

34. Разработка базовых конструкций 424 - - 75 228 121 разработка базовых конструкций

микроэлектромеханических систем --- -- --- --- и комплектов необходимой

277 60 141 76 конструкторской

документации на изготовление

чувствительных элементов:

микросистем контроля давления;

микроакселерометров;

микромеханических датчиков

угловых скоростей;

микроактюаторов с напряжением

управления, предназначенных для

использования в транспортных

средствах, оборудовании топливно-

энергетического комплекса,

машиностроении, медицинской

технике, робототехнике, бытовой

технике

35. Разработка базовых технологий 249 94 110 45 - - создание базовых технологий и

микроакустоэлектромеханических --- -- --- -- комплектов необходимой

систем 161 61 70 30 технологической документации на

изготовление

микроакустоэлектромеханических

систем, основанных на

использовании поверхностных

акустических волн (диапазон

частот до 2 ГГц) и объемно-

акустических волн (диапазон

частот до 8 ГГц),

пьезокерамических элементов,

совместимых с интегральной

технологией микроэлектроники

36. Разработка базовых конструкций 418 - - 71 225 122 разработка базовых конструкций и

микроакустоэлектромеханических --- -- --- --- комплектов необходимой

систем 280 60 143 77 конструкторской документации на

изготовление пассивных

датчиков физических величин:

микроакселерометров;

микрогироскопов на поверхностных

акустических волнах;

датчиков давления и температуры;

датчиков деформации, крутящего

момента и микроперемещений;

резонаторов

37. Разработка базовых технологий 106 51 55 - - - создание базовых технологий

микроаналитических систем --- -- -- изготовления элементов

72 34 38 микроаналитических систем,

чувствительных к газовым,

химическим и биологическим

компонентам внешней среды,

предназначенных для использования

в аппаратуре жилищно-

коммунального хозяйства, в

медицинской и биомедицинской

технике для обнаружения

токсичных, горючих и взрывчатых

материалов

38. Разработка базовых конструкций 224 - - 64 102 58 создание базовых конструкций

микроаналитических систем --- -- --- -- микроаналитических систем,

164 30 86 48 предназначенных для аппаратуры

жилищно-коммунального хозяйства,

медицинской и биомедицинской

техники;

разработка датчиков и

аналитических систем миниатюрных

размеров с высокой

чувствительностью к сверхмалым

концентрациям химических веществ

для осуществления мониторинга

окружающей среды, контроля

качества пищевых продуктов и

контроля утечек опасных и вредных

веществ в технологических

процессах

39. Разработка базовых технологий 151 57 59 35 - - создание базовых технологий

микрооптоэлектромеханических --- -- -- -- выпуска трехмерных оптических и

систем 109 38 41 30 акустооптических функциональных

элементов,

микрооптоэлектромеханических

систем для коммутации и модуляции

оптического излучения,

акустооптических перестраиваемых

фильтров, двухмерных управляемых

матриц микрозеркал

микропереключателей и

фазовращателей

40. Разработка базовых конструкций 208 - - 35 112 61 разработка базовых конструкций и

микрооптоэлектромеханических --- -- --- -- комплектов, конструкторской

систем 145 30 75 40 документации на изготовление

микрооптоэлектромеханических

систем коммутации и модуляции

оптического излучения

41. Разработка базовых технологий 106 51 55 - - - создание базовых технологий

микросистем анализа магнитных --- -- -- изготовления микросистем анализа

полей 72 34 38 магнитных полей на основе

анизотропного и гигантского

магниторезистивного эффектов,

квазимонолитных и монолитных

гетеромагнитных пленочных

структур

42. Разработка базовых конструкций 214 - - 54 104 56 разработка базовых конструкций и

микросистем анализа магнитных --- -- --- -- комплектов конструкторской

полей 137 30 69 38 документации на

магниточувствительные

микросистемы для применения в

электронных системах управления

приводами, в датчиках положения и

потребления, бесконтактных

переключателях

43. Разработка базовых технологий 119 42 45 32 - - разработка и освоение в

радиочастотных микроэлектро- --- -- -- -- производстве базовых технологий

механических систем 89 28 31 30 изготовления радиочастотных

микроэлектромеханических систем и

компонентов, включающих

микрореле, коммутаторы,

микропереключатели

44. Разработка базовых конструкций 166 - - 32 87 47 разработка базовых конструкций и

радиочастотных --- -- -- -- комплектов конструкторской

микроэлектромеханических систем 119 30 58 31 документации на изготовление

радиочастотных

микроэлектромеханических систем -

компонентов, позволяющих получить

резкое улучшение массогабаритных

характеристик, повышение

технологичности и снижение

стоимости изделий

45. Разработка методов и средств 81 41 40 - - - создание методов и средств

обеспечения создания и -- -- -- контроля и измерения параметров и

производства изделий 54 30 24 характеристик изделий

микросистемной техники микросистемотехники, разработка

комплектов стандартов и

нормативных документов по

безопасности и экологии

Всего по направлению 3 2768 429 476 540 858 465

---- --- --- --- --- ---

1845 286 317 360 572 310