§ 11. Оператор вакуумно-напылительных процессов (4-й разряд)

§ 11. Оператор вакуумно-напылительных процессов

4-й разряд

Характеристика работ. Напыление одного и нескольких слоев металлов на пластины, а также пленки на вакуумных установках с термическим распылением. Обслуживание вакуумных установок различных типов, в том числе с магнетронным способом напыления. Определение неисправностей в работе установок и принятие мер по их устранению. Корректировка режимов напыления по результатам контрольного процесса. Регистрация и поддержание режимов осаждения с помощью контрольно-измерительной аппаратуры. Определение качества напыленных слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.

Должен знать: устройство вакуумных установок различных моделей; кинематику, электрические и вакуумные схемы; правила наладки и проверки на точность обслуживаемого оборудования; устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных инструментов и приборов; конструкцию универсальных и специальных приспособлений; способы отыскания течей; основные свойства пленок, используемых для получения токоведущих, резистивных и изоляционных элементов микросхем; основы физического процесса получения тонких пленок; основные виды брака и причины его возникновения.

Примеры работ

1. Конденсаторы тонкопленочные - напыление меди, нихрома, многоокиси кремния.

2. Микросхемы (с малой степенью интеграции), ВЧ транзисторы - напыление на пластину алюминия, золота, нихрома, молибдена, систем: молибден-алюминий, титан-алюминий, вольфрам-алюминий, вольфрам-алюминий-вольфрам.

3. Микроструктуры многослойные пленочные - получение методом напыления в вакууме с контролем качества и толщины пленок.

4. Пластины с заданным рельефом - получение методом термического испарения трехслойного выпрямляющего контакта.

5. Платы анодные для люминесцентных индикаторов - напыление нескольких слоев металла (хром, никель, медь).

6. Пленки (триацетатные, ПЭТФ) - напыление алюминия.

7. Приборы квантовые - напыление пятислойных зеркал.

8. Фотошаблоны металлизированные - напыление хрома.